光罩服務

聯電的光罩製作部門為我們的客戶提供高品質以及具有競爭力的價格。除了光罩服務之外，我們也提供快速交貨給客戶的先進光罩製作技術。聯電同時也審核通過數位領導光罩廠商，包括Dupont Photomask Taiwan，DNP，Innova，Photronics，PSMC，Taiwan Mask Corporation以及Toppan/TCE。

服務範圍

框架產生
Test key，對準記號，CD bar，thickness bar以及暫存器都被安插在框架產生程序裡。

資料處理
根據客戶的要求處理斷裂，OPC（光學製程修正），PSM（相位移光罩），Dummy Pattern與布林運算。

遠端看JDF系統
客戶不論是在聯電，自用端或是光罩公司都可以執行觀看jobdeck。聯電工程師也隨時提供協助，以應付任何可能發生的技術問題。